光电 & 太阳能

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日期:2017/11/29 14:02:48 人气:1335

    少许未处理的尘土微粒大概气体份子能够严峻影响一些工艺流程。请设想一下净化的氛围对半导体这类高度敏感的制造工艺流程能够发生什么样的风险。

    正在半导体消费中,前沿的生产技术需求清洁度很高的氛围,并且那一清洁度要求借正在不断提高。一般要求晶圆消费情况的尘土粒径要小于25nm(2009年),现在那一粒径值借正在减小,估计到2017年将减小到10nm。气载份子污染物(AMC)也是初级晶圆厂存眷的题目。许多气载份子污染物(AMC)皆被证明会影响产物良率。比方,酸性气体会侵蚀硬盘或晶圆,可凝性有机物的沉降和低浓度氨气的存在会影响消费操纵。

    洁净室的重心就是氛围过滤装备,凭据差别的洁净室范例,需求思索运用差别的过滤装备。

    依附15年以上的微电子和半导体净化掌握手艺行业履历以,嘉科可以或许供应公道的清洁氛围解决方案。使以下工艺获得珍爱:

    晶圆及半导体

    微电子工艺设备

    硬盘驱动

    印刷电路板

    平板显现

    太阳能面板


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